用单晶硅来制造太阳能电池。光转化效率虽然最高，但制造成本也最为昂贵。远没有非晶硅那样低廉。所以从七十年代开始，最先引来研发热潮的是非晶硅技术。
硅在半导体工业中是用来作衬底，高纯度的单晶硅先被拉制成硅棒，然后切片制备成晶圆。然后在通过cvd（化学气相沉积）、光刻、蚀刻等一系列复杂的工艺流程，在晶圆上制造大量的微小电路，从而形成超大规模集成电路。
而在tft液晶中却有所不同，它需要在在衬底的基板玻璃上先附上一层硅膜，然后再在这层硅膜上制造用来控制液晶显示的集成电路。而制备晶圆的工艺，显然无法用于液晶面板上硅膜制造。相反半导体工艺中用来形成稳定固态薄膜的cvd设备。恰好可以解决在玻璃基板上覆盖硅膜的难题。
但cvd设备除了在半导体工业中不可或缺之外，其实也已经在光伏领域用来制造非晶硅薄膜。而这一非晶硅薄膜技术其实早在1979年，就被英国的邓迪大学率先用来试制出了非晶硅tft。
有英国人帮忙指路之后，日本和欧洲的企业和科研机构开始迅速跟进，非晶硅tft驱动液晶显示屏的开发成果。但实验室试制和工业化规模生产之间，毕竟还有不小的差距，抢先开始大规模投资的夏普公司就因此踩雷了。
太阳能电池对cvd设备的洁净度要求一点也不敏感，但tft液晶对洁净度的要求甚至比半导体产业还要苛刻。所以简单的把用于光伏产业的cvd设备略加改进就用来生产tft液晶面板，得到的产品良率简直是惨不忍睹。真正可行的办法是在半导体cvd设备的基础上。在结合非晶硅镀膜技术
第745章 非晶硅薄膜技术(2/4)